๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น์ฐ์
์ ์ต์ฒจ๋จ ๊ธฐ์ ์ ์ข
ํฉ์ ์ผ๋ก ์ด์ฉํ๋ ์ค์ํ ์ฐ์
์
๋๋ค. 2000๋
๋ ์ค๋ฐ๋ถํฐ ๊ตญ๋ด ์
์ฒด๋ค์ด ์ฅ๋น ๊ตญ์ฐํ์ ์ฑ๊ณตํ๋ฉด์, ๊ตญ์ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น์ ์์ฅ ์ ์ ์จ์ด ์ ์ ํ๋๋๊ธฐ ์์ํ์ต๋๋ค. ์ด ์ฐ์
์ ์ฃผ์ํ ํน์ง๋ค์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค.
์ฒซ์งธ, ๋ฐ๋์ฒด ์์ฐ๊ณต์ ์ ๋ณต์ก์ฑ๊ณผ ๋ค์์ฑ์ผ๋ก ์ธํด, ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น์ฐ์
์ ์ข
๋ฅ๊ฐ ๋ง๊ณ ์ฉ๋๋ ๋ค์ํฉ๋๋ค. ์ด๋ก ์ธํด ์ฅ๋น์์ฅ์ ์ธ๋ถํ๋ ๊ฐ๋ณ ์ฅ๋น๋ก ํ์ฑ๋์ด ์์ต๋๋ค.
๋์งธ, ๋ฐ๋์ฒด ์์๊ธฐ์ ์ ๋น ๋ฅธ ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ฅ๋น ๊ต์ฒด์ฃผ๊ธฐ๊ฐ ์งง์์ง๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ ์ง์์ง์ฝ์ ์ธ ๊ณ ๋ถ๊ฐ๊ฐ์น ์ฐ์
์ ํน์ฑ์ ๋ํ๋
๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ R&D์ ๋ํ ํฌ์ ๋น์ค์ด ๋ค๋ฅธ ์ฐ์
์ ๋นํด ์๋ฑํ ๋์ต๋๋ค.
์
์งธ, ์ง์ ํ(Sytem Integration) ๋ฅ๋ ฅ์ด ์ค์ํ ์ฐ์
์ผ๋ก, ์ ๋ฌธํ๋ ๊ตฌ์ฑํ ์์ฐ์
์ฒด์์ ๋คํธ์ํฌ๊ฐ ์ค์ํฉ๋๋ค.
๋ท์งธ, ์ฃผ๋ฌธ์ ์์ฐ๋ฐฉ์์ด ์ฃผ๋ฅผ ์ด๋ฃจ๋ฉฐ, ๋๊ธฐ์
๋ณด๋ค๋ ์ค๊ฒฌ ์ค์์
์ฒด์ ์ ํฉํ ์ฐ์
์
๋๋ค. ์์ ์
์ฒด์ธ ๋ฐ๋์ฒด ์
์ฒด์์ ๊ธด๋ฐํ ํ๋ ฅ๊ด๊ณ๊ฐ ํ์ํ๋ฉฐ, ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น๋ ๊ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์
์ฒด๋ณ๋ก ์ต์ ํ(Customizing)๋ฅผ ํ์๋ก ํฉ๋๋ค.
๋ง์ง๋ง์ผ๋ก, ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น์ฐ์
์ ํ ์ฐ์
์์ ํ๊ธํจ๊ณผ๊ฐ ํฐ ์ข
ํฉ ๊ธฐ์ ์ ์งํฉ์ฒด์
๋๋ค. ์ ์, ๊ธฐ๊ณ์ ์์ ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์ฌ๋ฃ, ๋ฌผ๋ฆฌ, ํํ ๋ฑ์ ๊ธฐ์ด ๊ณผํ๊ธฐ์ ์ด ํ์ํ๋ฉฐ, ์ด์ ๋ฐ ๊ฐ๊ณต๊ธฐ์ , ์ด์ฒญ์ ๊ธฐ์ , ๊ทนํ๊ธฐ์ , ๋ฉ์นดํธ๋ก๋์ค๊ธฐ์ , ์ํํธ์จ์ด ๋ฑ์ ํต์ฌ๊ธฐ์ ์ ๋ํ ์ธํ๋ผ ๊ตฌ์ถ์ด ์ค์ํฉ๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์
์ ๊ณผ๊ฑฐ ๊ธ๋ก๋ฒ ๊ฒฝ๊ธฐ ๋ณ๋์ ๋ฏผ๊ฐํ๊ฒ ๋ฐ์ํด์์ผ๋ฉฐ, ํธํฉ๊ณผ ๋ถํฉ์ ์ฃผ๊ธฐ์ ์ผ๋ก ๋ฐ๋ณตํด์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ์์ ํ๋ณต ๋ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น ์ฐ์
์ ์ฑ์ฅ์ ๊ธ๋ก๋ฒ ๊ฒฝ๊ธฐ์ธ์ดํด์ ์ํฅ์ ๋ฐ์ต๋๋ค.
์ฅ๊ธฐ์ ์ผ๋ก AI, ๋น
๋ฐ์ดํฐ, ๋ฐ์ดํฐ ์ ์ฅ์ฅ์น์ ๋์ฉ๋ํ, ์์จ์ฃผํ ๋ฐ ์ ๊ธฐ์๋์ฐจ, ์ฌ๋ฌผ์ธํฐ๋ท(IoT) ๋ฑ ์ฐ์
์ ๋ฐ๋ฌ๋ก ๋ฐ๋์ฒด์ ๋ํ ์์๊ฐ ์ฆ๊ฐ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์์๋ฉ๋๋ค. ์ด์ ๋ฐ๋ผ ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น์ฐ์
๋ ๋๋ฐ ์ฑ์ฅํ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์
๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น๋ ๊ณ ๊ฐ์ ์๊ตฌ์ ๋ฐ๋ผ ์ฃผ๋ฌธ ์ ์๋๋ ์์ฃผ์ฐ์
์ ํน์ง์ ์ง๋๊ณ ์์ด, ์์์
์ฒด์ ์ค๋นํฌ์์ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฐ์ต๋๋ค.
์ต๊ทผ ๋ฐ๋์ฒด ์์๊ธฐ์ ์ ๊ธ๊ฒฉํ ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ ๊ท์ฅ๋น์ ๊ฐ๋ฐ ๋ฐ ๊ธฐ์กด ์ฅ๋น ๊ฐ์ ์ ํ์์ฑ์ด ์ฆ๋๋๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋ํ,
ํฌ์ ๋๋น ์์ฐ๋ ์ฆ๊ฐ๋ถ์ ๊ฐ์ํ๊ณ ์ ์กฐ์๊ฐ์ ์ฆ๊ฐํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ ๋ฐ๋์ฒด ์์์
์ฒด๋ค์ด ์ ๊ทํฌ์๋ฅผ ์ง์์ ์ผ๋ก ํ๋ ๋ฐ ์ ์งํ๋ ํ์์ผ๋ก ์ด์ด์ง๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํ
์ค๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น์ฐ์
์์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์ง์์ ์ธ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ๋ฐ์ ํตํด ๊ณ ๊ฐ ์๊ตฌ์ ์ ํฉํ ์ต์ ์ ์ฅ๋น ๊ณต๊ธ์ ์ต์ ์ ๋คํ๊ณ ์์ต๋๋ค. PECVD์ฅ๋น๋ฅผ ํตํด ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น ์์ฅ์ ๋ณธ๊ฒฉ์ ์ผ๋ก ์ง์
ํ ํ, Gas Phase Etcher์ฅ๋น์ ๊ฐ๋ฐ์ ์ฑ๊ณตํ๋ฉฐ ๊ฑด์ ์๊ฐ ์ฅ๋น ์์ฅ์๋ ์ง์
ํ์ต๋๋ค. ๋ํ, 3D NAND์ ๊ด๋ จ๋ ๊ณต์ ์์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์๋ก์ด PECVD์ฅ๋น๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ์ฌ ์์ฐ ์ ์ฉํ์์ต๋๋ค.
2016๋
๋ถํฐ๋ Gas Phase Etcher์ฅ๋น๋ฅผ ์ ๊ท ๊ณ ๊ฐ์๊ฒ ๋ฐ์นญํ๋ฉฐ ๊ณ ๊ฐ ๋ค๋ณํ์ ์ฑ๊ณตํ์ผ๋ฉฐ, ํ์ฌ๋ ๋น๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ๊ณต์ ์๋ ์ ์ฉ๋๊ณ ์์ด ํฅํ ๋งค์ถ์ด ๊ธฐ๋๋ฉ๋๋ค. ํ
์ค๋ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ๋ฐ์ ํตํ ๊ธฐ์ ๋ด์ฌํ์ ์๋ก์ด ์ฅ๋น ๊ฐ๋ฐ, ๊ณ ๊ฐ ๋ค๋ณํ, ์ง์์ ์ธ ์ฌํ ์ง์์ ํตํด ํด์ธ ์ฃผ์ ์ฅ๋น ์
์ฒด๋ค๊ณผ ๊ฒฝ์ํ๊ณ ์์ต๋๋ค. |