지오엘리먼트는 최근 일본에 의존했던 반도체 장비 부품인 '액상 프리커서 기화 공급장치'를 국산화하는 데 성공하며 주목을 받고 있습니다. 이 소식이 알려진 후, 회사의 주가는 크게 상승했습니다. 특히, 이 장치는 반도체 칩 제조에 필수적인 퍼니스 장비에 사용되며, 이 장비는 동그란 반도체 웨이퍼 위에 전자 회로를 새기는 데 필요한 얇은 막을 씌우는 역할을 합니다.
퍼니스 장비의 핵심 요소 중 하나는 챔버 안으로 가스를 공급하는 과정입니다. 지오엘리먼트가 개발한 장치는 액체 상태의 프리커서를 기체로 변환하여 이 과정을 수행합니다. 이 장치는 최대 150℃까지 온도를 올려 프리커서를 빠르게 기화시키며, 이는 웨이퍼 공정의 속도를 향상시킵니다. 또한, 장치의 크기와 무게를 줄이면서 용량을 극대화한 것이 특징입니다.
이러한 연구개발의 성공은 지오엘리먼트에게 큰 전환점을 마련해주었습니다. 이제 회사는 국내외의 여러 반도체 장비 회사와 협력을 모색하며, 삼성전자나 SK하이닉스 같은 칩 제조 회사에 제품을 공급하는 것을 목표로 하고 있습니다. 이는 반도체 산업에서의 지오엘리먼트의 위치를 한층 강화시킬 것으로 보입니다.
전자소자의 박막 증착 공정에 사용되는 ALD 공정에서도 지오엘리먼트의 제품은 중요한 역할을 할 것으로 예상됩니다. ALD 공정은 그 우수한 단차피복성 덕분에 미세화되는 전자소자의 양산에 유리하며 CVD 공정을 점차 대체하고 있습니다. 지오엘리먼트의 기화이송 기술제품은 이러한 ALD 공정에 필수적인 부품으로, 안정적인 기화 공급이 필수적입니다.
또한, 지오엘리먼트는 PVD 공정에 사용되는 스퍼터링 타겟 시장에서도 활약하고 있습니다. 이 공정은 전자소자의 배선공정에 주로 사용되며, 스퍼터링 타겟은 PVD의 박막증착용 원료로 중요한 역할을 합니다.
반도체, 디스플레이, 태양전지 등 전자소자 산업은 계속 성장하고 있으며, 지오엘리먼트의 시장도 이러한 추세에 힘입어 성장할 것으로 기대됩니다. 이는 지오엘리먼트가 글로벌 시장에서의 경쟁력을 강화하는 데 중요한 역할을 할 것입니다.
지오엘리먼트는 반도체, 디스플레이, 태양전지 등 전자소자의 양산 과정에서 필수적인 박막 증착공정에 사용되는 원소재, 부품 및 장비의 제조 및 판매를 주요 사업으로 하고 있습니다. 이 회사는 두 가지 주요 사업 부문으로 구성되어 있습니다: 전구체 기화이송 사업부와 스퍼터링 타겟 사업부.
전구체 기화이송 사업 부문에서 지오엘리먼트는 캐니스터, 초음파 레벨센서와 같은 기술 제품을 성공적으로 사업화했습니다. 회사는 ALD용 전구체의 기화이송 기술 분야에서 세계 최고의 기술력을 목표로 설정하고, 이 분야에 연구 역량을 집중하였습니다. 그 결과, 지오엘리먼트의 기술 제품들은 국내외 ALD 장비 제조사에 표준 부품으로 채용되고 있으며, 전구체 제조사들에게도 중요한 전구체용 캐니스터로 사용되고 있습니다.
스퍼터링 타겟 사업 부문에서는 전자소자의 박막 증착을 위한 PVD용 소모성 원소재인 스퍼터링 금속 타겟의 연구개발, 제조 및 판매를 전문으로 하고 있습니다. 이 과정에서 고순도 금속 원자의 구조를 조정하는 소성가공 공정과 스퍼터링 타겟의 접합 및 정밀 가공공정에 중점을 두고 있습니다. 지오엘리먼트는 이러한 제조 공정에서 중요한 고순도 알루미늄, 티타늄, 구리 등 원소재 금속의 조직제어를 위한 소성가공 기술을 확보했습니다.
캐니스터는 고순도 화합물 전구체를 안전하게 보관하는 스테인레스 스틸로 만들어진 전용 용기입니다. 이 캐니스터는 전자소자의 ALD 공정에 사용되며, 안전성 확보를 위해 압력용기 인증과 운반용기 인증을 획득해야 합니다. 초음파 센서 제품은 캐니스터 내부의 액체 전구체의 양을 측정하는 데 사용되며, 이는 반도체 생산원가 관리와 ALD 공정의 안정적인 가동을 위해 중요합니다.
또한, 전자소자의 양산에 사용되는 ALD용 전구체 소재는 액체 형태이며, 이를 안정적으로 기화시키기 위해 온도 관리가 중요합니다. 지오엘리먼트는 이를 위해 캐니스터 전용 히터 및 항온기를 개발하여 상용화했습니다. 이와 함께, 솔리드 캐니스터와 PEB(Precursor Evaporation Box)도 개발하여, 전구체 기화이송에 사용되는 다양한 부품을 제공하고 있습니다.
스퍼터링 타겟은 PVD공정에 사용되는 소모성 소재로, 지오엘리먼트는 이 분야에서 국산화와 새로운 시장 개척을 목표로 연구 개발을 진행하고 있습니다. 이러한 제품들은 높은 품질과 가격 경쟁력을 갖추고 있으며, 반도체의 투자경기에 영향을 받지 않는 안정적인 시장에서 성장하고 있습니다. | 
