ํ๋๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ ๋ฐ๋์ฒด์ ํต์ฌ ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ธ ์์นญ(์๊ฐ) ๊ณต์ ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์์ฌ์ Electrode, Ring ๋ฑ ์๋ชจ์ฑ ๊ตฌ์กฐ๊ธฐ๋ฅ์ฑ ๋ถํ(Parts)์ ์ ์กฐํ๋ ๊ฒ์ ์ฃผ๋ ฅ ์ฌ์
๋ถ์ผ๋ก ํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ 4์ฐจ ์ฐ์
ํ๋ช
์ ๋๋์ IT์ฐ์
์ ์ฑ์ฅ์ผ๋ก ๋ฐ๋์ฒด์ฐ์
์ด ํฌ๊ฒ ์ค์ํด์ง๋ฉด์, ์์ฐ์ฑ๊ณผ ์์จ ํฅ์์ด ์
๊ณ์ ํต์ฌ ๊ณผ์ ๊ฐ ๋์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ํฉ์์ ํ๋๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ์ ๋๊ตฌ๊ฒฝ ๋จ๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ธ๊ณณ(Silicon Ingot) ์ฑ์ฅ๊ณผ ์ ๋ฐ ๋ถํ ๊ฐ๊ณต ๊ธฐ์ ์ด ๋์ฑ ์ค์ํด์ง๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด Wafer์ ์ฌ๋ฃ์ธ ์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ์ ์นํ์ฑ์ ๋์ด๊ธฐ ์ํด ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋ถํ์ ์์๊ฐ ์ง์์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ํ๋๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ Tokyo Electron, ์ธ๋ฉ์ค ๋ฑ์ ์ฅ๋น ์ ์กฐ์
์ฒด์ ์ผ์ฑ์ ์ ๋ฑ์ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ์
์ฒด๋ฅผ ์ฃผ์ ๊ณ ๊ฐ์ผ๋ก ํ๋ณดํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ ํ๋๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ์ ๊ธฐ์ ๋ ฅ๊ณผ ํ์ง ์์ค์ด ์ด๋ฏธ ๊ฒ์ฆ๋์์์ ์๋ฏธํฉ๋๋ค.
ํ๋๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ์ ์ฃผ์ ์ ํ์ธ Electrode์ Ring์ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ค ์์นญ ๊ณต์ ์์ ์ฌ์ฉ๋๋ ํต์ฌ ๋ถํ์
๋๋ค. Electrode๋ Dry Etching ๊ณผ์ ์์ ๊ฐ์ค๋ฅผ ํต๊ณผ์์ผ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์จ์ดํผ์ ํ๋ฉด์ ๊ฐ์ข
๊ฐ์ค๋ฅผ ๊ท ์ผํ๊ฒ ๋ถ์ฌ์ํค๋ ์ญํ ์ ํ๋ฉฐ, Ring์ ์ฑ๋ฒ ๋ด์์ ํ๋ผ์ฆ๋ง๊ฐ ์ ํํ ์์น๋ก ๋ชจ์ด๋๋ก ํ๊ณ Electrode๋ฅผ ์จ์ดํผ์ ํํํ๊ฒ ๊ณ ์ ์ํค๋ ์ญํ ์ ํฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ถํ๋ค์ ๋ฐ๋์ฒด ์นฉ ์์ฐ์ ์์จ๊ณผ ์ ํ์ ์ฑ๋ฅ์ ๊ฒฐ์ ํ๋ ๊ณ ๋ถ๊ฐ๊ฐ์น ๋ถํ์ผ๋ก, Etching ๊ณต์ ์ ์๊ฐ ๋น์จ์ ์ง์ ์ ์ธ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ฉฐ, ์ต๊ทผ ๊ณต์ ๊ธฐ์ ์ ๋ฏธ์ธํ๋ก ์ธํด ๊ทธ ์ค์์ฑ์ด ๋์ฑ ๋ถ๊ฐ๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ ์์ฌ๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์
์์ ๊ธฐ์ด์ ์ด๋ฉด์๋ ๊ณ ๊ธฐ๋ฅ์ฑ๊ณผ ๊ณ ๋ถ๊ฐ๊ฐ์น๋ฅผ ์ง๋ ์์ฌ์
๋๋ค. ํ๋๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ ์ด๋ฌํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์์ฌ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต์ , ํนํ ์์นญ(Etching) ์ฅ๋น์ฉ ๊ตฌ์กฐ๊ธฐ๋ฅ์ฑ์ ์๋ชจ์ฑ ๋ถํ์ ์ ์กฐํ๋ ๊ฒ์ ์ฃผ์ ์ฌ์
์ผ๋ก ์์ํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ๊ณต์ ์ ๋ฏธ์ธํ, ๊ธฐ์ ์ ํ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ 3D ์ ์ธตํ ๋ฑ์ ์ฐ์
๋ณํ์ ๋ฐ๋ผ ํ๋๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ์ ๋ถํ ๊ณต๊ธ๋์ ๊ณ์ํด์ ์ฆ๊ฐํ ๊ฒ์ผ๋ก ์์๋ฉ๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด FAB(์ ์กฐ ์์ค)์ ๊ฐ๋๋ฅ ์ ํ๋๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ ๋ถํ์ ์์์ ๊ฐ์ฅ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฏธ์นฉ๋๋ค. FAB์ ๊ฐ๋๋ฅ ์ด ๋์์๋ก ๋ถํ์ ์ฌ์ฉ ๋น๋๊ฐ ์ฆ๊ฐํ๋ฉฐ, FAB ํฌ์ ๊ท๋ชจ์ ์ฆ๊ฐ ์ญ์ ์ํฅ๋ ฅ์ด ์์ต๋๋ค. FAB ํฌ์ ๊ฒฐ์ ์ D๋จ, NAND, ์์คํ
๋ฐ๋์ฒด ๋ฑ์ ์์๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ ๋ชจ๋ฐ์ผ ๊ธฐ๊ธฐ, ํด๋ํฐ, ํ๋ธ๋ฆฟ, PC, ์๋ฒ ๋ฑ ์ ์ ์ ํ์ ์์ ๋ฐ ๊ตญ๋ด์ธ ๊ฒฝ๊ธฐ์ ์ํด ์ํฅ์ ๋ฐ์ต๋๋ค.
๊ตญ์ ๋ฐ๋์ฒด์ฅ๋น์ฌ๋ฃํํ(SEMI)์ ์ ๋ง์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด, ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น ์์ฅ์ 2023๋
์ ์ผ์์ ๊ฐ์๊ฐ ์์๋๋, ์ธ๊ณ ๊ฐ๊ตญ์ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์
ํฌ์ ์ํฅ์ผ๋ก ์ดํ์๋ ๋ฐ๋์ฒด ์์ฅ์ ์ฑ์ฅ์ด ๋๋๋ฌ์ง ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์
๋๋ค. ์ด๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น ์๋ชจ์ฑ ๋ถํ์ ์์ ์ฆ๊ฐ ๋ฐ ๊ท๋ชจ ํ๋๋ก ์ด์ด์ง ๊ฒ์
๋๋ค. ํ๋๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ ์๊ณณ(Ingot) ์์ฐ๋ถํฐ ๋ถํ ๊ฐ๊ณต, ์ธ์ ๋ฑ ์ผ๊ด ์์ฐ ๊ณต์ ํ๋ก์ธ์ค๋ฅผ ๊ตฌ์ถํ์ฌ ๊ณ ๊ฐ์ ์๊ตฌ์ ๋ง๋ ๋ฉ๊ธฐ์ ํ์ง ์์ค์ ์ ํ์ ๊ณต๊ธํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํ๋๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ์ ๊ฒฝ์ ์ฐ์ ์ฌํญ์ผ๋ก๋ ์ต์ ์ ์๊ณณ ์ฑ์ฅ ๊ธฐ์ ๋ ฅ ํ๋ณด, ์ผ๊ด ์์ฐ ํ๋ก์ธ์ค ๊ตฌ์ถ, ์ ๋ฐ ๋ถํ ๊ฐ๊ณต ๊ธฐ์ ํ๋ณด, ๊ธ๋ก๋ฒ ๋ฉ์ด์ ์ฅ๋น์
์ฒด๋ก๋ถํฐ์ ์ ํ ๊ณต๊ธ ๋ฑ์ด ์์ต๋๋ค. ๋ํ ํ๋๋จธํฐ๋ฆฌ์ผ์ฆ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋ถํ ์์ฃผ์ ์ฌ์
๊ตฌ์กฐ์์ ๋ฒ์ด๋, ์ฌ์
๋ฐ ์ ํ ํฌํธํด๋ฆฌ์ค๋ฅผ ๋ค๊ฐํํ๊ธฐ ์ํด ์ค๋ฆฌ์ฝ์นด๋ฐ์ด๋(SiC) ์ฌ์
์ ์ถ์งํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ ๊ณต์ ๋ณํ์ ์ ์ฐํ๊ฒ ๋์ํ๊ณ , ๋ฐ๋์ฒด ๋ถํ ์์ฌ๋ฅผ ๋ค์ํํ์ฌ ์ฌ์
๊ฒฝ์๋ ฅ์ ๊ฐํํ๊ธฐ ์ํ ์ ๋ต์
๋๋ค. ๊ณ ์ง์ ๋๋ฅผ ์ํ ์ ํญ ๋ฏธ์ธํ์ ๊ณ ๋ฐ๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง ํ๊ฒฝ์ ๋์
, Dry Etching ๊ณต์ ์ ํ์ฐ์ผ๋ก ์ธํ ๊ณ ์จ ๊ณต์ ์ ์ด์ ํ์์ฑ ํ๋์ ๋์ํ๊ธฐ ์ํจ์
๋๋ค. |