์ ์คํ
์ 2016๋
๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํ์ฑ์ ๋ฅ๋์ ๋ณธ์ฌ๋ฅผ ๋๊ณ , ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐ ๋์คํ๋ ์ด ๋ถ์ผ์ ๊ธฐ์ ๋ฐ ์์
๊ฒฝ๋ ฅ์ ๊ฐ์ถ ์ธ๋ ฅ์ ์ค์ฌ์ผ๋ก ์ฌ์
์ ์์ํ์ต๋๋ค. โจ์ฃผ์ ์ฌ์
๋ชฉ์ ์ N2 Purge ๊ธฐ๋ฅ์ ํฌํจํ ์ ํ(LPM, BIP ๋ฑ)์ ์์ฐ ๋ฐ ํ๋งคํ์ฌ ๋ฐ๋์ฒด ์์จ์ ํฅ์์ํค๋ ๊ฒ์ด์์ต๋๋ค. ์ ์คํ
์ ์ค๋ฆฝ์์ ์ฐฝ์
๊ตฌ์ฑ์๋ค์ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ๋ฐ์ ํตํด Load Port ์์ฅ์ ๋์ํ ์ ์๋ ์ฝ 100์ฌ ์ข
์ Stage๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํจ์ผ๋ก์จ ํ์ฌ์ ์ ์ฒด์ฑ๊ณผ ์์ฅ ๊ฒฝ์๋ ฅ์ ํ๋ณดํ์ต๋๋ค.
๐์ ์คํ
์ N2 Purge ์์คํ
์ ํ(FOUP) ๋ด๋ถ์ ์จ์ดํผ ํ๋ฉด ์ ์ด ๋ฐ ์ด๋ฌผ ์ ๊ฑฐ๋ฅผ ํตํด ๋ฐ๋์ฒด ์์ฐ ์์จ ๊ฐ์๋ฅผ ๋ฐฉ์งํ๋ ์ ํ์
๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ๋ฐ์ ์ ๋ฐ๋ผ N2 Purge ๊ธฐ์ ์ ํ์์ฑ์ ์ธ์ํ๊ณ , ์์ฅ ์ ์ ์ ์ํ ์ ๋ต๊ณผ ์์ฒด ์ ํ ๊ฐ๋ฐ์ ์งํํ์ต๋๋ค.
์ ์คํ
์ ๊ตญ๋ด ์ต์ด๋ก ์ ํ ์์ฐ์ ์์ํ๊ณ , N2 Purge ์ฅ์น์ ๊ณ ๊ฐ ๋ค๋ณํ๋ฅผ ํตํด ๋งค์ถ ํ๋ ๋ฐ ์ ๊ท ์ฑ์ฅ ๋๋ ฅ ํ๋ณด์ ์ฃผ๋ ฅํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋ํ, 2์ธ๋ N2 Purge ์ ํ ๊ฐ๋ฐ ๋ฐ ํ๊ฐ ํ
์คํธ์ ์ง์คํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
์ ์ธ๊ณ์ ์ธ ๋ฐ๋์ฒด ์
ํฉ ๋ํ์๋ ๋ถ๊ตฌํ๊ณ , ๊ฐ๊ตญ ์ ๋ถ์ ๋๊ท๋ชจ ์ง์๊ณผ ์ ๊ท Fab ๊ฑด์ค์ด ํ๋ฐํ ์ด๋ฃจ์ด์ง๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ผ์ฑ์ ์์ TSMC๋ ๋ฏธ๊ตญ ๋ด์์ ๋๊ท๋ชจ ํฌ์๋ฅผ ์งํ ์ค์
๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น ์์ฅ ๊ท๋ชจ๋ ๊ณ์ ์ฆ๊ฐํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ๋ฐ๋์ฒด ๋ฏธ์ธ๊ณต์ ๊ธฐ์ ์ ํ๋ณด๋ ์
์ฒด๋ค์ ๊ฒฝ์๋ ฅ์ ๊ฒฐ์ ํ๋ ์ฃผ์ ์์๋ก ์๋ฆฌ์ก๊ณ ์์ต๋๋ค. ํ์ฌ 7nm ์ดํ ๋ฐ๋์ฒด๋ฅผ ์ ์กฐํ ์ ์๋ ํ์ฌ๋ ์ผ์ฑ์ ์์ TSMC๊ฐ ์ ์ผํฉ๋๋ค.
โ
์ ์คํ
์ ๊ตญ๋ด์ธ ๋ฐ๋์ฒด IDM ์
์ฒด์ ํ๊ฒฝ์ ์ด N2 Purge System์ ๊ณต๊ธํด ์์ผ๋ฉฐ, 100์ข
์ด์์ ์ค๋น Model์ ๋ง๋ ์๋ฃจ์
์ ์ ๊ณตํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ํนํ Nโ LPM(Load Port Module)์ ์ ์ธ๊ณ ๋๋ถ๋ถ์ ์ ํ์ ์ ์ฉ ๊ฐ๋ฅํ๋ฉฐ, ๋ฐ๋์ฒด ์์ฐ Top 3 ํ์ฌ์ ๊ณต๊ธํ๋ ์ ์ผํ ํ์ฌ๋ก, ๊ธ๋ก๋ฒ ์์ฅ์์ 1์๋ฅผ ์ฐจ์งํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋ํ, Diffusion ๊ณต์ ์ ๋ด๋นํ๋ ๋ฐฐ์น ํ์
์ฆ์ฐฉ๊ธฐ(Furnace) ์ฅ๋น์ Nโ๋ฅผ ๊ณต๊ธํ๋ Nโ BIP(Built-in Purge) system๋ ๊ธ๋ก๋ฒ ์์ฅ์์ 1์๋ฅผ ์ฐจ์งํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๐ -LPM(Load Port Module)์ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ ๊ณผ์ ์์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์จ์ดํผ๋ฅผ ๋ณด๊ดํ๋ FOUP(Front Opening Universal Pod)์ ๋์ด๋ฅผ ์ด๊ณ ๋ซ์ผ๋ฉฐ ์จ์ดํผ๊ฐ ์ด์ก๋ ์ ์๊ฒ ํ๋ ์ฅ์น์
๋๋ค. ์ด ์ฅ์น๋ ๋ฐ๋์ฒด ์์ฐ ๊ณต์ ์์ ์จ์ดํผ์ ์์ ํ ๋ฐ์ก๊ณผ ๊ด๋ฆฌ์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํฉ๋๋ค. |