1. Probe Card(ํ๋ก๋ธ์นด๋)
โ
ํฐ์์ค์ด๋ ์ฃผ๋ก NAND Flash ์ ์กฐ์
์ฒด์ธ ์ผ์ฑ์ ์, SKํ์ด๋์ค, ์ธํ
, ๋ง์ดํฌ๋ก , YMTC ๋ฑ์ Probe Card๋ฅผ ๊ณต๊ธํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ต๊ทผ ์ค๋งํธ ๋๋ฐ์ด์ค์ SSD์ ์์ ์ฆ๊ฐ๋ก NAND Flash๋ DRAM์ ๋์ด์๋ ์์ฅ์ผ๋ก ์ฑ์ฅํ๊ณ ์๊ณ , ์ด์ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์ ์กฐ์ฌ๋ค์ ๊ณต๊ฒฉ์ ์ธ ์ค๋น ํ์ฅ์ ์งํํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์์ฅ ํ๊ฒฝ ๋ณํ์ ๋ฐ๋ผ ๊ฒ์ฌ ์ฅ๋น ์ ์กฐ ์
์ฒด๋ค์ ๊ณ ์ฑ๋ฅ NAND Flash ์ ํ์ ๊ฒ์ฌํ ์ ์๋ ์ฅ๋น ๊ฐ๋ฐ์ ์ง์คํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, Probe Card ์ ์กฐ ์
์ฒด๋ค ๋ํ ์ด์ ๋ง์ถ ๊ธฐ์ ํ๋ณด์ ์ฃผ๋ ฅํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ํฐ์์ค์ด๋ MEMS Probe Card ์์ฐ์ ํ์ํ ํต์ฌ ๋ถํ์ ๋ด์ฌํํ๊ณ ๊ณ์ดํํ์ฌ ์๊ฐ ๊ฒฝ์๋ ฅ์ ๋ฌผ๋ก ๋ฉ๊ธฐ์ ํ์ง ๋ฉด์์ ํ์ฌ์ ๋นํด ๊ฒฝ์ ์ฐ์์ ์์ต๋๋ค.
๐ก๊ณผ๊ฑฐ ์์์
์ค์ฌ์ด์๋ Probe Card ์ ์กฐ ๋ฐฉ์์์ ๋ฒ์ด๋ ์ค๋น๋ฅผ ํตํ ์๋ํ๋ฅผ ๋์
ํจ์ผ๋ก์จ ๊ท ์ผํ ํ์ง์ ํ๋ณดํ๊ณ ์์ฐ์ฑ์ ๋์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ฅผ ํตํด ๊ณ ์ฌ์์ ์ ํ์ ์งง์ ์๊ฐ ๋ด์ ์ ์กฐํ ์ ์๊ฒ ๋์์ต๋๋ค. ๋ํ High-Speed ์ ํ์ ๋์ํ๊ธฐ ์ํด ์ ํธ ์ ์ก ๊ธธ์ด๋ฅผ ํฌ๊ฒ ๋จ์ถํจ์ผ๋ก์จ ๊ฒฝ์์ฌ ๋๋น ์ฐ์๋ฅผ ์ฐจ์งํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
2. Interface Board
์ ํต์ ์ธ ๋ฐ๋์ฒด ์์ฅ์ ์ ์กฐ ์
์ฒด๋ค์ด ํ์คํ๋ ๋ฐ๋์ฒด ์์๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ์ฌ ๋๋์ผ๋ก ์์ฐํ๊ณ , ๋ฏธ๋ฆฌ ๋๋์ ์ฌ๊ณ ๋ฅผ ํ๋ณดํ ๋ค ์์ฅ์ ์์์ ๋ฐ๋ผ ์ ํ์ ๊ณต๊ธํ๋ ํํ์์ต๋๋ค. ๋ฉ๊ธฐ๊ฐ ์ผ์ ํ๊ณ ํ๋ณด ๊ฐ๋ฅํ ์์ฅ์ด์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๊ณต๊ธ์ ํฐ ์ด๋ ค์์ด ์์์ต๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ์ต๊ทผ ์์ฅ์ CPU, GPU, Power Chip, RF Chip, Mobile Chip ๋ฑ ๋ค์ํ ์ดํ๋ฆฌ์ผ์ด์
๊ณผ ํจํค์ง ํ์
์ ์ฌ์ฉํ๋ ๋ฐ๋์ฒด ์์๋ก ๋ณํํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๐์ด์ ๋ฐ๋ผ ๊ณ ๊ฐ์ ๋ค์ํ๊ณ ๊ธด๋ฐํ ์ผ์ ์ ๋ง์ถ์ด ๋ฐ๋์ฒด๋ฅผ ๊ณต๊ธํ๋ ํํ๋ก ์งํํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ๊ณ ๊ฐ์ ์งง์ ๋ฉ๊ธฐ ์๊ตฌ์ ๋์ํ์ง ๋ชปํ๋ค๋ฉด ์ ํ ํ๋งค๋ ๋ฌผ๋ก , ๋ค์ ๋จ๊ณ์ ์์
๋ ์ด๋ ค์์ง๋ ์ํฉ์ด ๋ฐ์ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
์ด๋ฌํ ์์ฅ ์ํฉ์์ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ ์
์ฒด๋ค์ ์ธํฐํ์ด์ค ๋ณด๋ ๊ณต๊ธ์
์ฒด์ ๊ฐ๋ ฅํ ๋จ ๋ฉ๊ธฐ๋ฅผ ์๊ตฌํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด์ ๋ฐ๋ผ ์ธํฐํ์ด์ค ๋ณด๋ ์์ฅ์ ์ ์์ ์ ํ์ ๊ณต๊ธํ ์ ์๋ ์
์ฒด๋ง์ด ์ด์๋จ๋ ๊ฒฝ์์ด ์น์ดํด์ง๊ณ ์์ต๋๋ค.
๐ํฐ์์ค์ด๋ ์ด์ ๋์ํ๊ธฐ ์ํด SMT ๋ผ์ธ์ ์ค์นํ์ฌ ์ธํฐํ์ด์ค ๋ณด๋ PCB๊ฐ ๋์ฐฉํ์๋ง์ SMT ์์
์ด ์งํ๋๋๋ก ํ์ฌ ์๊ฐ์ ๋ญ๋น ์์ด ์ ํ ์์ฐ์ด ๊ฐ๋ฅํ ์์คํ
์ ๊ตฌ์ถํ์์ต๋๋ค. ๋ํ, PCB ์ค๊ณ ๊ณผ์ ์ ์ ํธ ๋ฌด๊ฒฐ์ฑ(Signal Integrity, SI)๊ณผ ์ ๋ ฅ ๋ฌด๊ฒฐ์ฑ(Power Integrity, PI)์ ์ ์ฉํ๊ณ , ์๋ฎฌ๋ ์ด์
์ ํตํด ์ค๊ณ ๋จ๊ณ์์๋ถํฐ ๊ณ ๊ฐ์ ์๊ตฌ ์ฌํญ์ ๋ถํฉํ๊ณ , ์ ์ ์คํจ ์์๋ฅผ ์ฌ์ ์ ์ ๊ฑฐํ์ฌ ์์ฐ ์์จ์ ๋์ด๊ณ ์คํจ ์์ด ๋จ ๋ฉ๊ธฐ์ ๋์ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํฐ์์ค์ด๋ ๊ฒฝ์ ๊ธฐ์
๋ณด๋ค ์์ Parallelism ํ์ฅ ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํ์ฌ ์์ฉํํจ์ผ๋ก์จ, ํ ๋ฒ์ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ DUT(Device Under Test)๋ฅผ ๋์์ ๊ฒ์ฌํ ์ ์๋ ๋ฅ๋ ฅ์ ํฌ๊ฒ ํฅ์์์ผฐ์ต๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์์ฐ์ฑ์ ํ์ ์ ์ผ๋ก ๊ฐ์ ํ์ต๋๋ค.
Tester On Board ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ๋ก ๊ฒ์ฌ ์ฅ๋น์ ์๋ช
์ ์ฐ์ฅํ๊ณ , ์ ๊ธฐ๋ฅ ๊ฒ์ฌ ์ฅ๋น๋ก๋ ๊ณ ๊ธฐ๋ฅ ๋๋ฐ์ด์ค๋ฅผ ๊ฒ์ฌํ ์ ์๊ฒ ๋์์ต๋๋ค. ์ด ๊ธฐ์ ์ Interface Board์ ํ์ํ ๊ธฐ๋ฅ์ ํ์ฌํ์ฌ, ๊ฒ์ฌ ์ฅ๋น์ ๊ธฐ๋ฅ ๋ถ์กฑ์ ๊ทน๋ณตํ๋ ์ ๊ธฐ์ ์
๋๋ค.
ํฐ์์ค์ด์ Test Interface ์ ํ ๋ผ์ธ์
์ ๋ชจ๋ ATE ์ ์กฐ์ฌ์ ๊ฒ์ฌ ์ฅ๋น ๋ชจ๋ธ๊ณผ ๋ชจ๋ Handler ์ ์กฐ์ฌ ๋ฐ ๋ชจ๋ธ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ชจ๋ ๋๋ฐ์ด์ค ํจํค์ง์ ๋์ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ํ, ๊ณ ๊ฐ์ ํน๋ณํ ์๊ตฌ์ฌํญ์ ๋ถํฉํ๋ ๋ง์ถคํ Interface์ ๊ฐ๋ฐ ์ ์์ด ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค.
ํฐ์์ค์ด์ ๊ฒฝ์๋ ฅ์ ์ ํ ๋ผ์ธ์
์ ๊ธฐ๋ฐํ ๋ฐฉ๋ํ ์ค๊ณ ๋ฐ์ดํฐ๋ฒ ์ด์ค์ ์์ต๋๋ค. ๊ณ ๊ฐ์ผ๋ก๋ถํฐ ์์ธํ ์ฌ์์ ๋ฐ์ ์ํ๋ ์ ํ์ ์ค๊ณํ๊ณ ์ ์ํ๋ ๋ฐ ์ด ๋ฐ์ดํฐ๋ฒ ์ด์ค๊ฐ ์์ผ๋ฉด ๋ชจ๋ ์ค๊ณ๋ฅผ ์ฒ์๋ถํฐ ๋ค์ ํด์ผ ํ๋ฏ๋ก ๋ฉ๊ธฐ๋ฅผ ๋ง์ถ๊ธฐ ์ด๋ ต์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ฐ์ดํฐ๋ฒ ์ด์ค๋ ๊ณ ๊ฐ ๋ง์กฑ๊ณผ ๊ฒฝ์ ์ฐ์๋ฅผ ๋ฌ์ฑํ๋ ๋ฐ ์ค์ํฉ๋๋ค.
๋ํ ์ค๋ ๊ธฐ๊ฐ ์ถ์ ๋ ์ค๊ณ ๊ธฐ์ ๋ ฅ๊ณผ ๋
ธํ์ฐ๋ ๋์ ํ์ง ์ ์ง์ ์๊ฐ ์ ๊ฐ์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค. โญํนํ PCB ์ค๊ณ์์๋ ๊ฐ์ ์์ค์ ํ์ง๊ณผ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ์ ์งํ๋ฉด์ ๋ ์ ์ ์์ PCB ๋ ์ด์ด๋ก ์๊ฐ๋ฅผ ์ ๊ฐํ๊ณ ๊ฐ๊ฒฉ ๊ฒฝ์๋ ฅ์ ๊ฐ์ถ ์ ์์ต๋๋ค.
3.๋ฐ๋์ฒด ํ
์คํธ ์์ผ
๋ฐ๋์ฒด ์์ ํ์ ๋ค์ํ ์ ๋ฐฉ์ฐ์
์ ๊ฒฝ๋ฐ๋จ์ํ ์ถ์ธ์ ๋ฐ๋ผ ์ง์์ ์ผ๋ก ๋ณํํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ํนํ ๋ชจ๋ฐ์ผ ์ ํ์์๋ ๋์ฑ ์ ๋ฐํ ํ ๊ฐ๊ฒฉ(Fine Pitch), ๋ฎ์ ์ ๋ ฅ ์๋ชจ(Low Power Consumption), ๋์ ์๋ ์๋(High Operation Speed)๊ฐ ์๊ตฌ๋๋ฉฐ ์ด๋ฌํ ๋ณํ๋ ์ ์ ๊ฐ์ํ๋๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด์ ๋ฐ๋ผ ๋ฐ๋์ฒด ์์ ํ์ ๊ฒ์ฌํ ๋๋ ์ ํ ํน์ฑ์ ๋ง๋ ๋ค์ํ ํ
์คํธ ์๋ฃจ์
์ ์ ๊ณตํ๊ณ , ์ฌ์ ์๋ฎฌ๋ ์ด์
์ ํตํด ์ ํ์ ์ ์์ ๊ฐ๋ฐํ๋ ๋ฅ๋ ฅ์ด ์ค์ํ ๊ฒฝ์๋ ฅ์ผ๋ก ์๋ฆฌ์ก๊ณ ์์ต๋๋ค.
๊ตญ๋ด ์์ฅ์ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ๋ฐ๋์ฒด์ ๋น์ค์ด ๋์ผ๋ฉฐ ๋๋ ์์ฐ์ ํน์ฑ์ ์๋ผ์คํ ๋จธ ์์ผ์ ํ๋งคํ๋ ์
์ฒด๋ค์ด ์ฃผ๋ฅผ ์ด๋ฃน๋๋ค. ๋ฐ๋ฉด์ ํด์ธ ์์ฅ์ ๋ค์ํ ๋น๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ๋ฐ๋์ฒด์ ์๋ ์์ฐ์ด ๋ง์ ์คํ๋ง ํ ์์ผ์ ๊ฐ๋ฐํ๊ณ ํ๋งคํ๋ ํ์ฌ๋ค์ด ๋ง์ต๋๋ค.
๐นํ
์คํธ ์์ผ ์์ฅ์ ์ ํต์ ์ธ ์คํ๋ง ํ ๋ฐฉ์์์ ๊ณ ์ ํ
์คํธ์ ์ ํฉํ ์๋ผ์คํ ๋จธ ์์ผ์ผ๋ก ์ ์ฐจ ์ ํ๋๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์ ํ์ ์ธํ, ํํ, ์ฉ๋ ๋ฐ ๊ณ ๊ฐ์ ์๊ตฌ์ ๋ฐ๋ผ ๋ ์ข
๋ฅ์ ์์ผ์ด ๊ฐ๊ฐ ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์์ต๋๋ค. ํนํ ์๋ผ์คํ ๋จธ ์์ผ์ ์ ์ ๋ ฅ๊ณผ ๊ณ ์ํ๊ฐ ๊ธ์ํ ์๊ตฌ๋๋ ๋ชจ๋ฐ์ผ, 5G, ์ธ๊ณต์ง๋ฅ(AI), ์์จ์ฃผํ ์ ๊ธฐ์๋์ฐจ ๋ฑ์ ๋น๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ๋ฐ๋์ฒด ๊ฒ์ฌ ๋ถ์ผ์์ ์ฌ์ฉ์ด ํ๋๋๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด์ ๋ฐ๋ผ ์์ฅ์ ์ฑ์ฅ๋ ๊ฐ์ํ๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํฐ์์ค์ด๋ MEMS ๊ธฐ๋ฐ์ ์์ฒด Fab.์ ํตํด Elastomer socket์ ์ฐ์ด๋ conductive particle์ ์ํ๋ ํ์๊ณผ ์ฌ์ด์ฆ๋ก ์ ๋ฐํ๊ฒ ์ ์ํ ์ ์๋ ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด ๊ณต์ ์ ๋ฐ๋์ฒด ํจํค์ง์ Sn ์ ์ด๋ฅผ ์ต์ํํ๊ณ contactor์ ๋ด๊ตฌ์ฑ์ ๊ทน๋ํํ์ฌ TEST SOCKET์ ์๋ช
์ ๋๋ฆฝ๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ํจํค์ง์ ์ํํ, ๋ฏธ์ธํ ์ถ์ธ์ ๋ง์ถฐ ๋ฏธ์ธํ๊ณ ์ ๋ฐํ ๋ถํ ์ ์์ด ๋์ฑ ์ค์ํด์ง์ ๋ฐ๋ผ, ์ด๋ฌํ MEMS ๊ณต์ ์ ํตํ ๊ฐ๋ฐ์ ๊ฒฝ์์ฌ์์ ์ฐจ๋ณ์ ์ด ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์
๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด ๊ฒ์ฌ์ฉ TEST SOCKET์ ํจํค์ง ์ข
๋ฅ, ํฌ๊ธฐ ๋ฐ application์ ๋ฐ๋ผ ๋ค์ํ๊ฒ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ๋ค๋ฅธ ์
์ฒด๋ค์ด ์์ผ ํ์ฐ์ง๋ง์ ์ค๊ณํ๊ณ ๋ถํ์ ์ธ์ฃผ ์ฒ๋ฆฌํ๋ ๊ฒ๊ณผ ๋ฌ๋ฆฌ, ๋น์ฌ๋ Spring pin๊ณผ Elastomer pad๋ฅผ ์ง์ ๊ฐ๋ฐํ๊ณ ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ธํ๋ผ๋ฅผ ๊ฐ์ถ๊ณ ์์ด ๊ณ ๊ฐ ๋ง์ถคํ ์ ํ์ ๊ฒฝ์๋ ฅ ์๋ ๊ฐ๊ฒฉ๊ณผ ๋ฉ๊ธฐ๋ก ์ ๊ณตํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํฐ์์ค์ด๋ ๋ฐ๋์ฒด Test์ ํ์ํ ์ ๊ณต์ ๊ณผ ํ๊ณต์ ๊ด๋ จ ๊ธฐ์ ์ ์ค๋ ๊ธฐ๊ฐ ์ถ์ ํ์ฌ Test socket์ ์ ์ฉํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์๋ก์ด Test solution์ ๊ฐ๋ฐํ๊ณ ๊ณ ๊ฐ์๊ฒ ์๋ก์ด Package Test ๋ฐฉํฅ์ฑ์ ์ ์ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ํ Wafer Level์์ Package Test ๊ณต์ ์ ํ์์ฑ์ด ์ปค์ง๊ณ ์๋ ์ํฉ์์ Probe Card, MEMS ๊ธฐ์ , Test Socket์ ๊ธฐ์ ์ ์ตํฉ์ ์์ผ๋ก์ Package Test ๊ณต์ ์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์
๋๋ค.
๐Test Socket ์ ์กฐ ๋ฐฉ์์ด ์์์
์์ ์๋ํ๋ก ์ ํ๋จ์ ๋ฐ๋ผ, ์์ฐ์ฑ์ ํฌ๊ฒ ํฅ์์ํค๊ณ ๋ฉ๊ธฐ ๋จ์ถ๊ณผ ์์ฐ๋ ์ฆ๋๋ฅผ ์คํํ์์ต๋๋ค. ์ด ์๋ํ๋ฅผ ํตํด ๊ท ์ผํ ํ์ง์ ํ๋ณดํ์ฌ ๊ณ ํ์ง์ ์ ํ์ ์์ฐํ ์ ์๊ฒ ๋์์ต๋๋ค.
****ํฌ์ํฌ์ธํธ๋****
AI๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ๋ก HBM์์๊ฐ ์ฆ๊ฐํ๋ฉฐ ๋
์์ ์ผ๋ก ๊ฐ๋ฐํ HBM๋ฐ๋์ฒด ํ
์คํธ ๋ค์ด์บ๋ฆฌ์ด ์์ผ์ ๊ณต๊ธํ ์ด๋ ฅ์ด ์์ต๋๋ค. ์ด ๋ถ๋ถ์ด ํฌ์ ํฌ์ธํธ๋ผ ์๊ฐํฉ๋๋ค. |